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待解决问题 多轴联动开发时，精密位移台的高频闭环反馈怎么处理最合理？

背景描述： 各位大佬，最近在带队开发一套半导体视觉检测设备的上位机（C#开发），底层运动控制是用了一套三轴联动的精密位移台（直线电机直驱，配有高分辨率光栅尺做全闭环反馈）。 遇到的痛点： 在设备做高速
精密检测位移台
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